آنالیزسطح، روشی است که در آن با استفاده از کاوشگرهای شیمیایی و فیزیکی میکروسکوپی اطلاعات مربوط به منطقه سطح یک نمونه مورد آنالیز قرار می گیرد.در آنالیزسطح منطقه کاوش ممکن است لایه فوقانی بالای اتمها باشد یا ممکن است تا چندین میکرون در زیر سطح نمونه وابسته به روش مورد استفاده در فرآیند آنایزسطح، گسترش یابد.
آنالیزسطح برای ارائه اطلاعات در مورد ویژگی هایی مانند ترکیب شیمیایی ، ردیابی سطح ناخالصی ها، ساختار فیزیکی یا شکل ظاهری منطقه نمونه برداری انجام می شود.
آنالیزسطح نوعی بررسی است که در خارجی ترین لایه ماده جامد انجام می شود.به طور خاص آنالیزسطح به بررسی لایه نازک جامد که با محیط آن در تماس است اشاره دارد.
تجزیه و تحلیل سطح با تحریک سطح یک ماده با استفاده از منبع انرژی و سپس مشاهده آنچه در نتیجه این انرژی زایی اتفاق می افتد برای تعیین خصوصیات سطح یک ماده انجام می شود که اصطلاحاً به آن آنالیزسطح می گویند.
فارسی 
English