عوامل موثر بر وضوح تصویر در FE-SEM

میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) پرکاربردترین ابزار برای توصیف و تجزیه و تحلیل سطح نمونه‌های جامد است. این تکنیک در بسیاری از مراکز تحقیقاتی و همچنین در بخش‌های مختلف صنعت از سالیان پیش مورد استفاده قرار می گیرد.
پیشرفت‌های اخیر میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی (FESEM) با وضوح بسیار بالا، فرصت‌های جدیدی رادر بسیاری از کاربردهای علمی و مهندسی و پزشکی در مقیاس نانو ایجاد نموده است.
عوامل موثر بر وضوح تصویر در میکروسکوپ الکترونی عبارتند از:
– قطر پرتو الکترون
– پراکندگی در نمونه
– نسبت سیگنال به نویز
– آشفتگی‌های خارجی که خود به دو دسته تقسیم می‌شود:
1- میدانهای الکتریکی یا مغناطیسی
2- ارتعاشات مکانیکی