GD Profiler 2 GD-OES

GD-OES از جمله روش‌های آنالیز و شناسائی مواد بوده و اساس آن بر برانگیختگی به کمک تخلیه الکتریکی و اندازه‌گیری شدت پرتو تابیده از عنصرهای موجود در نمونه استوار است. برتری اساسی این روش نسبت به روش‌های دیگر، توانایی آن در آنالیز لایه‌به‌لایه از سطح به عمق است.  این توانایی به ویژه در آنالیز پوشش ها امتیاز منحصر‌به‌فرد به‌حساب می‌آید.

اصول کار:

شمای کلی:

از جمله مزیت‌های این روش نسبت به دیگر روش‌ها عبارتند از:

سرعت یون‌پراکنی (Sputtering) بالا

توانایی بالای آنالیز حجم، پروفیل عمق زیاد، پوشش‌ها، فیلم‌های نازک و سطح

آنالیز هم‌زمان کلیه عناصر در سطح

دقت بالای اندازه‌گیری

باریک‌بودن خطوط نشری و کاهش تداخل

کم‌بودن گاز آرگون مورد نیاز (کمتر از یک لیتر در هر آنالیز)

تمیز‌بودن سطح نمونه بعد از انجام آنالیز

کم بودن استاندارد‌های مورد نیاز برای رسم نمودار

 

آنالیز کمی پروفيل عمقی عناصر به روش GDS در مورد پوشش‌های زیر انجام

می‌شود:

پوشش‌های گالوانیکی

کربن‌دهی، نیتروژن‌دهی و کربن‌نیتروژن‌دهی

پوشش‌های CVD,PVD

لایه‌های اکسیدی

پوشش‌های نیمه‌هادی

ورق‌های فولادی

و غیره.

Sample
 Conductive or non, fragile or heat sensitive Type of sample
 (Easy sample handling (no UHV Sample handling
Direct mounting of samples up to 40 cm in diameter Sample diameter
Possible measurement of all elements – up to 47 with the polychromator, unlimited number with the monochromator
Note: F and He are requiring the use of Ne gas instead of standard (Ar). Molecular bands are also measurable
Elements determined
Source
Ultra Fast Sputtering (UFS) Operation Mode for fast sputtering of polymeric layers *UFS
Double differential vacuum system with 2 pumps offering enhanced depth resolution, deeper craters and the use of the plasma for sample preparation for EBSD and SEM Double pumping
…,4, 2, 7, 8 available Anode diameters
RF Plasma
Erosion of the material by sputtering and simultenous excitation of the sputtered species for observation with the spectrometer Function
3,56 MHz RF generator Frequency 1
RF, Pulsed RF and Vdc operation with automatic matching* in all modes Modes
Optical system
 Optimum direct view to the plasma (no fbers, no beam splitters Interface
 50 focal with Polyscan* function offering scanning facility around the poly lines Polychromator focal length
Double polychromator with extended spectral range coverage from the VUV (120 nm for H and D) to the near IR (Kat 766 nm) with 2 gratings – frst for the VUV/UV/visible range and second one using the zero order light of the main grating for the alkali Spectral range
Dedicated gratings, 2400gr/mm triple order for optimum light throughput and resolution in the VUV/UV and 1200gr/mm for the alkali Polychromator gratings
High resolution Monochromator (64 cm, Czerny Turner – choice of grating 2400 or 3600 gr/mm) with direct observation for simultaneous measurement of any n+1 element in depth profle and with Image function built in – full spectrumrecord Monochromator
Overpressure of the optics for Long Life Time and absence of contamination assured by neutral gas purge Purge
Detection
 High Dynamic Detectors offering a dynamic of the measurement of at least 5* 109 for all lines without any preadjustment of the sensitivity of the detectors *HDD
Software
 Windows 7 and up Operating system
Multilanguage Software Language
 Real Time Display of the recorded profles Display
Time Plus and Plasma Cleaning functions built in
Quantifcation algorithms built in
DBs of spectral lines, possible interferences, Relative Sputtering Rates
Software that can be installed on multiple locations with easy Export/Import of analytical information
Analytical support
Flexible report generation Reports
Full control of all operating parameters and remote control capability for on line customer support Control software
Accessories – Options
Flexible design offering the possibility to extend/change on site the optical confguration or add the monochromator without any impact to the light transmission towards the previous lines Optical confguration
 Various accessories for handling air sensitive, small or non flat samples Odd samples
Possible addition of magnetic felds *RF coupler
Environment
 WxHxD 86 x 125 x 150 cm Size Compact instrument
350kg Weight